Společnosti Samsung a Hynix nasadily EUV litografii do výroby pamětí již před lety. Pochvalují si zejména vyšší výtěžnost a nižší spotřebu. V jiné situaci je Micron, který zatím tuto technologii v sériové výrobě nevyužívá. Oficiálně se sice snaží tvářit, že nechce, protože má výborné výsledky s vícenásobným vzorkováním - ve skutečnosti má nainstalovaný EUV skener v továrně A3 v Taichungu na Tchaj-wanu od roku 2022, nicméně sériová výroba je stále daleko.

z prezentace z roku 2022 (Micron)

Informace o EUV v Micronu jsou poměrně útržkovité. Existují zmínky o třech továrnách, které by měly nasadit tzv. 1γ proces, jenž EUV litografii využívá (1x → 1y → 1z → 1α → 1β → 1γ, přičemž „1x“ znamenalo proces nižší než 20nm a každé další písmeno značí určitý technologický posun). Nejvíce je slyšet o továrně v Boise (Idaho), kterou Micron staví od roku 2022 a na kterou dostal příspěvek z amerického CHIPS Act. Další významná továrna, která má nabídnout EUV proces, stojí v Hirošimě (Japonsko). Micron jí vybral z toho důvodu, že se měla stát vůbec prvním EUV provozem na japonském území, což mělo společnosti zajistit primát alespoň v tomto směru. Třetí továrnou je zmíněná A3 v Taichungu (Tchaj-wan), kde probíhá příprava samotného 1γ EUV procesu.

Ještě v roce 2022 informoval Anandtech, že Micron plánuje EUV výrobu zahájit ve druhém pololetí 2023 až v roce 2024. V září 2022 vydal Micron prezentaci, kde uvádí rozběhnutí EUV výroby v roce 2024 (na jednom místě pak zmiňuje „2024+“). Odkaz na prezentaci najdete níže ve zdrojích, ale fungovat vám nebude. Prezentace byla odstraněna, poslední úspěšný přístup k souboru eviduje webarchiv v květnu 2023, tedy zhruba před rokem. Patrně již tehdy bylo Micronu jasné, že rok 2024 nedodrží.

z prezentace Micronu z roku 2022 (Micron)

Aktuální situace je taková, že továrna Boise má začít fungovat (v částečném režimu) v roce 2025. Již loni na podzim Donghui Lu z Micronu, který má aktivity na Tchaj-wanu na starost, uvedl, že A3 v Taichungu začne s EUV výrobou v roce 2025. Když ani továrna, ve které je proces připravován, nemůže začít výrobu dříve než v roce 2025, je spuštění v roce 2024 i v jiných továrnách vyloučeno. Aktuálně se navíc dozvídáme, že továrna v Hirošimě, která měla být otevřena v roce 2026, čímž by se stala první EUV provozem v Japonsku, nebude dokončena dříve než 2027.