Zdá se, že extrémní růst cen waferů, jehož jsme v posledních letech svědky, hned tak nezpomalí. Nasazení EUV sice pomohlo určitému posunu a umožnilo vznik 5nm a 3nm výrobních procesů, ale samotné EUV skenery byly velmi drahé a především jejich provoz, zvlášť u světelných zdrojů prvních generací, nebyl zrovna výhodný. Zdroje světla byly slabší a stroj zvládal za jednotku času zpracovat podstatně méně waferů než klasické metody.

Poslední dobou se stále více mluví o tématu high-NA EUV skenerů, které umožní posunout technologii výroby na a za 2nm generaci. Oproti stávajícím EUV skenerům totiž umožňují kreslit v 8nm rozlišení namísto 13nm (zde, na rozdíl od názvů procesů, platí nanometry jako fyzikální jednotka, nikoli jako marketingové číslo), což znamená 1,7× preciznější detaily (~1,7× menší tranzistory). Ovšem opět to není bez háčku. Cena high-NA EUV skeneru totiž vychází na $380 milionů, což je více než dvojnásobek oproti ceně stávajících EUV skenerů používaných pro stávající procesy ($183 milionů).

Pořizovací náklady však nejsou jediným problémem. Instalace systému je doslova během na dlouhou trať. Zařízení, které váží 150 tun, je dodáváno rozebrané ve 250 bednách a kompletace a zprovoznění je prací pro 250 inženýrů na půl roku. Ani tím to nekončí. Nové skenery dále vyžadují kompletní překonfigurování výrobního procesu, navíc pracují s polovičním zobrazovacím polem. To musí být zohledněno už při návrhu čipu.

Prvním známým výrobcem, který chce high-NA EUV technologii nasadit, je Intel v souvislosti s procesem A18 (1,8nm). Tím měl být původně vyráběn mobilní procesor Lunar Lake (ultramobilní varianta Arrow Lake) chystaný na konec letošního roku, ale podle delší dobu prosakujících zpráv to Intel nemá šanci stihnout a aby dodržel časový plán, nasadil namísto vlastního A18 procesu 3nm výrobu u TSMC.

Navzdory cenám, komplikované instalaci a dalším podmínkám, si ASML jakožto výrobce nemůže na nezájem stěžovat. Aktuálně registruje poptávku po 10-20 kusech. Z první várky nejspíš větší část strojů zamíří k Intelu, naopak nejspíš jen naprosté minimum k TSMC (pro účely vývoje), která raději zvolila konzervativnější cestu a až do zhruba 1nm výroby plánuje setrvat na stávající EUV technologii. O stroje má zájem také Samsung.